光刻机是干嘛的 光刻机的简介

更新时间:2023-09-09 08:51:09 作者:知道百科

1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机的种类可分为:接触式曝光、接近式曝光、投影式曝光。

2、光刻机的工作原理是通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模。经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上。然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

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